Учебные материалы/Лабораторные работы/Физика. Вакуумная техника/Лабораторная работа по современной вакуумной технике плазменных установок — MEPHIST.ru — Портал студентов и выпускников МИФИ
http://www.mephist.ru/Учебные материалы/Лабораторные работы/Физика. Вакуумная техника/Лабораторная работа по современной вакуумной технике плазменных установок